Atomic Layer Deposition : Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications
by Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, Arthur Sherman, Tommi Kääriäinen Hardcover 2013
- Author: Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, Arthur Sherman, Tommi Kääriäinen
- ISBN 13: 9781118062777
- ISBN 10: 1118062779
- Publication Year: 2013
- Language: English
Specifications
Index-101118062779
LanguageEnglish
Index-139781118062777
Period-
Class Track-
Publisher- (2013)
Pages-